1、產品特點
◆高可靠性，高重復性
◆寬泛的參數調節范圍，可以使用多種氣體，實現最大范圍的參數選擇
◆便捷化的操作模式，方便實驗人員操作。
◆簡單的維護方法
◆產品體積小
◆適應不同形狀材料的處理
◆設備可選型號齊全，有不銹鋼、石英、鋁合金等不同材質真空腔；40KHz，13.56MHz等離子發生源等可選。也有全自動、手動版本可選擇。
2、主要技術參數
設備型號 | SY-DT01 | SY-DT07 | SY-DT02 | SY-DT02S | SY-DT03 | SY-DT03S |
整機結構 | 臺式 | 柜式可移動 | ||||
外形尺寸 | 625x500x442 | 500x500x320 | 700x700x2093(含指示燈底輪） | |||
設備重量 | 54KG | 75KG | 250KG | 250KG | 250KG | 250KG |
腔體規格 | 圓形，3L | 方形，9L | 圓形，7L | 方形，17L | 圓形，7L | 方形，17L |
腔體尺寸 | Φ140x210 | 210x210x220 | Φ210x210 | 260x260x260 | Φ210x210 | 260x260x260 |
電極規格 | 外置環形 | 內置平板式 | 外置環形 | 內置平板式 | 外置環形 | 內置平板式 |
載物尺寸 | 120x180 | 170x194 | 180x185 | 220x185 | 180x185 | 220x185 |
電 源 | 高頻40KHz | 射頻13.56MHz | ||||
放電功率 | 300W | 1000W | 500W | |||
放電形式 | 輝光放電 | |||||
真 空 泵 | 外置機械泵 抽速：3L/S | 內置機械泵 抽速：6L/S | ||||
控制系統 | 手動 | PLC自動 | ||||
進氣路數 | 2路進氣 | |||||
放電氣壓 | 5-80Pa | |||||
可連續 放電時間 | >30min | |||||
使用氣體 | 氧氣、氬氣、氮氣、空氣、氦氣、氫氣、少量蒸汽等 | |||||
3、產品特點
◆適用于小尺寸材料的表面處理
◆適用于高分子材料、陶瓷、玻璃、硅片、金屬的表面處理，不合適液體、揮發性強的物質。
◆能適用塊狀、薄膜狀、復雜幾何構型、少量粉末材料的處理
◆能實現表面清洗、活化、有機物沉積、接枝、消毒、刻蝕等處理要求。
管理員
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